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1、光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或對電子能量敏感)的高分子聚合物材料 ， 是轉移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介 。光刻膠的英文名為resist，又翻譯為抗蝕劑、光阻等 。光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護襯底表面 。光刻膠只是一種形象的說法，因為光刻膠從外觀上呈現為膠狀液體 。
【光刻膠的作用 光刻膠的作用是什么】2、光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面 。當紫外光或電子束的照射時，光刻膠材料本身的特性會發生改變，經過顯影液顯影后 ， 曝光的負性光刻膠或未曝光的正性光刻膠將會留在襯底表面，這樣就將設計的微納結構轉移到了光刻膠上，而后續的刻蝕、沉積等工藝 ， 就可進一步將此圖案轉移到光刻膠下面的襯底上，最后再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了 。

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